真空腔体加工检漏的办法主要有三种，其间氦质谱检漏是真空检漏领域里不行少的一种，因为检漏效率高，简便易操作，仪器反响灵敏，精度高，不易受其他气体的搅扰，在检漏中有较多使用。
真空腔体加工检漏主要有三种：氦质谱检漏，真空封泥检测法，真空计检漏法。下面就来详细的介绍下这三种办法。
一、氦质谱检漏
在真空检漏中有许多使用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由分析器、离子源、分析器、冷阴电离规、收集器组成的质谱室和抽气体系及电气等部分组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振动，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互磕碰使其电离成正离子，这些氦离子在加快电场效果下进入磁场，在洛伦兹力的效果下偏转，进而形成了圆弧形轨道，改变加快电压可使不同离子经过磁场和接纳缝到达接纳而被检测到。其间呢，喷氦法和吸氦法是氦质谱检漏常用的两种办法。
二、真空封泥检测法
用真空泥封住可疑的漏点，此时要注意观察真空度的变化，如果贴上真空泥之后真空度上升较快，拿掉之后又会下降，这说明便是一个漏点哦。但是，这个办法在实践检测中用的比较少。
三、真空计检漏法
部分真空计的读数与气体种类有关，例如电离真空计，热偶计。用气体或许液体做示漏物质，这些真空计就成了探测器，一般镀膜机上都会有真空计，在实践使用中也是比较常用的检漏办法。热偶计的示漏物质有二氧化碳，丁烷，酒精等，热偶计的反响比较慢，要仔细观察。用于电离计的示漏物质主要有氦，氩，酒精等。
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